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深圳市粵佳氣體有限公司
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菜單 Close 公司首頁(yè) 公司介紹 公司動(dòng)態(tài) 產(chǎn)品展廳 證書榮譽(yù) 聯(lián)系方式 在線留言
產(chǎn)品詳請(qǐng)
品牌 粵佳氣體
貨號(hào) 7727-37-9
型號(hào) 7727-37-9
外觀 黑色
包裝規(guī)格 40升/50升/杜瓦罐/大型槽車
純度 99.9999%
CAS編號(hào)
別名 5N氮?dú)?
執(zhí)行質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn) GB/T 8979-2025
廠家(產(chǎn)地) 深圳

  深圳寶安超純氮?dú)馀渌?/span> 廣東粵佳氣體集團(tuán)有限公司是廣東地區(qū)大型的綜合性氣體生產(chǎn)供應(yīng)商,公司創(chuàng)始于1993年,是一家有三十多年老牌民營(yíng)氣體公司,總部位于廣州市,目前集團(tuán)擁有十個(gè)生產(chǎn)基地,配送網(wǎng)絡(luò)覆蓋廣州、東莞、深圳、佛山、惠州、中山、珠海、江門、清遠(yuǎn)、肇慶等地。集團(tuán)現(xiàn)擁有多套空氣液化分離裝置、高純液氧純化裝置、乙炔生產(chǎn)裝置、氫氣生產(chǎn)裝置、液氦及氦氣充裝裝置、工業(yè)氣體及可燃?xì)怏w充裝裝置、混合氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體配置中心、氣體質(zhì)量檢測(cè)中心、5N高純氣體純化裝置、6N超純氣體純化裝置、氣瓶檢驗(yàn)站點(diǎn)等?;浖褮怏w工廠已通過多項(xiàng)質(zhì)量體系認(rèn)證及安全管理體系認(rèn)證,并榮獲國(guó)家專精特新企業(yè)和多次獲得工商局重合同守信用優(yōu)秀單位稱號(hào)?;浖褮怏w集團(tuán)擁有俄羅斯穩(wěn)定的氦氣資源供應(yīng)渠道,建立了完善的液氦運(yùn)輸網(wǎng)絡(luò),并且是廣東省擁有民營(yíng)氦氣及ISO液氦充裝的氣體公司,充分保障了華南地區(qū)制造與科研領(lǐng)域?qū)Ω呒兒獾某掷m(xù)穩(wěn)定需求。

  深圳寶安超純氮?dú)馀渌?/span> 粵佳氣體集團(tuán)現(xiàn)經(jīng)營(yíng)銷售產(chǎn)品有:

  氦氣和液氦:廣泛應(yīng)用于醫(yī)療核磁共振成像、半導(dǎo)體制造、光纖制造、低溫超導(dǎo)實(shí)驗(yàn)及航天推進(jìn)系統(tǒng)等領(lǐng)域,純度涵蓋高純5N、超純6N,包裝包括40升鋼瓶、50升鋼瓶、液氦杜瓦罐、氦氣管束TT、液氦ISO儲(chǔ)槽;可滿足不同行業(yè)對(duì)高穩(wěn)定性與高潔凈度的嚴(yán)苛要求。

  工業(yè)氣體:涵蓋氧氣、氮?dú)?、氬氣、氫氣、二氧化碳、乙炔等常?guī)工業(yè)氣體,面向粵港澳大灣區(qū)重點(diǎn)制造業(yè)集群(如廣州黃埔、深圳南山、東莞松山湖、佛山三龍灣等地);工業(yè)氣體產(chǎn)品嚴(yán)格執(zhí)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、緊急訂單24小時(shí)內(nèi)直達(dá)。

  食品級(jí)氣體:食品級(jí)氮?dú)?、食品?jí)二氧化碳、食品級(jí)N2、食品級(jí)液體二氧化碳。

  電子特種氣體:電子級(jí)特種氣體主要面向集成電路制造、LED外延生長(zhǎng)、光伏電池鍍膜等工藝環(huán)節(jié),純度達(dá)5N–6N(99.999%–99.9999%)。

  5N高純氣體:高純氮?dú)?/span>(5N)、高純氬氣(5N)、高純氧氣(5N)、高純氫氣(5N)、高純氦氣(5N)、高純二氧化碳(5N)、高純甲烷(5N)等,包裝包括 4050升鋼瓶、管束TT,純度均達(dá)99.999%(5N)及以上,配套超潔凈充裝系統(tǒng)與電子級(jí)內(nèi)表面處理氣瓶(EP級(jí)),滿足半導(dǎo)體、顯示面板、精密光學(xué)鍍膜等對(duì)顆粒物、金屬離子及水分含量的極限控制要求;所有高純氣體產(chǎn)品均經(jīng)第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)全項(xiàng)認(rèn)證,并提供COA質(zhì)量證書及批次追溯報(bào)告。

  6N超純氣體:超純氮?dú)?/span>(6N)、超純氬氣(6N)、超純氫氣(6N)、超純氦氣(6N)、超純甲烷(6N)、及超純氧氣(6N),純度達(dá)99.9999%(6N),采用全不銹鋼EP級(jí)管路充裝系統(tǒng)。

  混合氣體:標(biāo)準(zhǔn)混合氣體、激光混合氣體、準(zhǔn)分子激光混合氣體、(KrF、ArF光刻用混合氣)、羅芬激光混合氣體、CO2激光混合氣體、氫氮混合氣體、氦氧混合氣體等,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻、精密焊接、科研實(shí)驗(yàn)等場(chǎng)景。

  同位素氣體:氘氣(D2)、碳-13(13CH4)、氮-15(15N2)、氧-18(H218O、18O2)等高豐度同位素氣體。

  工程安裝服務(wù):提供涵蓋氣體站房設(shè)計(jì)、特種設(shè)備安裝(含壓力管道GC2級(jí)資質(zhì))、智能監(jiān)控系統(tǒng)集成、實(shí)驗(yàn)室管道設(shè)計(jì)安裝等。具備GC2級(jí)壓力管道安裝資質(zhì)及特種設(shè)備安裝改造維修許可證。

  深圳寶安超純氮?dú)馀渌?nbsp;半導(dǎo)體晶圓外延生長(zhǎng)是芯片制造的核心前置工序,對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的氣體純度、潔凈度有著嚴(yán)苛要求,超純氮?dú)馐窃摴ば虿豢苫蛉钡谋Wo(hù)性工藝氣體。外延生長(zhǎng)過程中,晶圓需在高溫腔體內(nèi)部完成薄膜沉積作業(yè),腔體內(nèi)部的氧氣、水汽、粉塵雜質(zhì)會(huì)直接破壞外延層的晶體結(jié)構(gòu),影響晶圓的導(dǎo)電性能與良品率。作業(yè)過程中,持續(xù)通入超純氮?dú)饪梢酝耆脫Q腔體內(nèi)部的空氣介質(zhì),構(gòu)建穩(wěn)定的惰性保護(hù)氛圍,規(guī)避高溫狀態(tài)下晶圓基底與活性氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。超純氮?dú)獾母呒兌忍刭|(zhì),能夠有效減少外延薄膜出現(xiàn)晶格缺陷、針孔、氧化層瑕疵等問題,保障薄膜生長(zhǎng)的均勻性與穩(wěn)定性。在批量晶圓生產(chǎn)過程中,超純氮?dú)饪扇叹S持腔體壓力平衡,緩沖設(shè)備開關(guān)腔帶來的氣流波動(dòng),降低外界雜質(zhì)侵入的概率。常規(guī)半導(dǎo)體外延生產(chǎn)線會(huì)全天候定量輸送超純氮?dú)猓鶕?jù)腔體容積與生產(chǎn)節(jié)拍調(diào)整供氣流量,適配硅外延、鍺外延、化合物半導(dǎo)體外延等不同生產(chǎn)工藝的需求,為后續(xù)光刻、刻蝕、摻雜等工序奠定基材基礎(chǔ)。